半導體電學測試結合顯微鏡輔助,無論在品質控制還是研究領域都不可或缺。特別是「IC測試」領域,不僅要求最高的機械精度,還需要全新儀器來支援品質控制與研究。
量測精確:探針系統對IC結構進行電氣測量、電位對比及缺陷偵測。
軟體控制:支援高低溫實驗選項,讓探針在極端溫度下測試。